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磁控濺射真空鍍膜

設備簡介:

濺射車燈真空鍍膜機(jī)是在真空狀态下,專業在注塑或金屬表面進行濺射鍍鋁、鍍錫等專業設備。配備先進的工(gōng)藝和穩定的監測工(gōng)具,使得(de)它成膜速度快(kuài),膜層緻密性好、純度高、色澤鮮亮,膜厚均勻、牢固,且不産生(shēng)工(gōng)業廢水,避免對環境的污染,是大(dà)規模生(shēng)産的理(lǐ)想設備。設備廣泛應用在汽車反射鏡、汽車燈具、手機(jī)、工(gōng)藝品、裝飾等行業。本裝置是在真空狀态下将注塑物表面上進行離(lí)子轟擊清洗後利用濺射鍍金屬膜,繼續保持真空環境,在鍍過的金屬膜表面直接鍍氧化保護膜(SiOx 氧化矽膜)的磁控濺射設備。在真空室内自(zì)動連續進行低真空排氣、電弧轟擊前處理(lǐ)(産品表面清洗、活性化)、高真空排氣(X10-5Torr)、鋁蒸散(鍍鋁膜)、防氧化膜鍍膜(鋁膜上覆蓋氧化矽硬化膜防止鋁膜氧化脫落)等工(gōng)序。真空室是立式雙開門(mén)結構,産品挂具固定在門(mén)上可(kě)以自(zì)轉,旋轉速度可(kě)通過變頻器無極調速。設備的設置和操作(zuò)由觸摸式顯示屏完成,并直觀的顯示整個設備運行狀态。

1.真空室尺寸   :雙開門(mén),φ900(φ800,φ700)×1552H,材料:SUS304
2.真空系統        : 機(jī)械泵(RP)+羅茨泵(MBP)+擴散泵(DP)+超低溫冷(lěng)凍機(jī)單元(達到零下140度)。
3.循環冷(lěng)卻水裝置  :真空系統冷(lěng)卻水單元;磁控濺射電極冷(lěng)卻單元。
4.工(gōng)藝電源        :直流電源(鋁濺射使用);DC POWER;中頻電源(前處理(lǐ)和氧化保護膜鍍膜處理(lǐ)使用);MF POWER。
5.控制系統        :可(kě)編程控制器,觸摸屏。
6.生(shēng)産周期        :220~390秒(根據産品有所不同)。