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光(guāng)學鍍膜機(jī)

設備簡介：

本裝置是用于從(cóng)深紫外 (DUV) 到可(kě)見(jiàn)光(guāng)譜 (VIS) 再到紅(hóng)外 (IR) 光(guāng)譜範圍應用的理(lǐ)想選擇。鍍膜的種類涵蓋用于激光(guāng)以及其他(tā)的邊緣濾光(guāng)片（短(duǎn)通和長通）、UV-IR 截止濾光(guāng)片、陷波濾光(guāng)片和窄帶通濾光(guāng)片、二色性彩色濾光(guāng)片和偏振分(fēn)光(guāng)器、AR 和 HR

設備靈活性高 ：
不同的腔室尺寸，内徑在 710 mm 到 2810 mm 之間。這意味着我們可(kě)提供相(xiàng)應的腔室以完美地匹配我們客戶定義的裝載容量和基底尺寸。
系統可(kě)針對 DUV 應用進行優化 ：
針對 193 nm 波長光(guāng)刻應用優化的系統解決方案。這些解決方案包括經過特殊處理(lǐ)的腔室表面、精選的材料和個性化的部件(jiàn)配置以确保極低的鍍膜損耗。這些措施在生(shēng)成 DUV 應用中所需的具有高反射率的無偏移穩定鏡面鍍膜的氧化物鍍膜應用中也至關重要。
用于 IR 應用的系統的可(kě)用性：
爲滿足 IR 應用的特殊要求，設備的設計(jì)可(kě)進行完美地調适并使其部件(jiàn)進行匹配從(cóng)而應對大(dà)量的 IR 鍍膜材料。可(kě)在整個表面和曲面上以極佳的層性能對需要良好均勻性的平坦和曲率極高的基底進行鍍膜。